真空閥門的基(jī)本結構和形式
時間:2013-3-20 14:59:50 來源:溫州尼威閥門 瀏覽數:4060
真空閥門大致有兩(liǎng)種:一種是關閉後隔絕大氣和真空空間的(de)開關形閥門,另一種(zhǒng)是調整通氣量的流量可(kě)變閥門。後者在導入氣體之類的設備上使用。
一般而言的真空閥門是指開關氣路閥(fá)門。閥門的基本(běn)功能是在關閉時確實隔絕大氣(qì)和真(zhēn)空空間。
(1)真空閥門的基本結構
(1)閥門封口部,
(2)傳動(dòng)軸,
(3)外罩封口部。
根據三個部分的構(gòu)造不同,被利用在(zài)不同的真空(kōng)領域(yù)。
(2) 閥門的形式(shì)
閥門大體有四種形式,即角閥(fá),蝶閥,直通閥和閘(zhá)閥。各種閥(fá)門根據(jù)應用的真空領域而選定
(3) 閥門的驅動
閥門的驅動(dòng)有手動和自動兩種。自動閥門以壓縮空氣驅動為主,一部分小(xiǎo)型閥(fá)門通過電磁鐵(tiě)來驅(qū)動。
2.流量可變閥門
流量可(kě)變閥門主要應用於控製向(xiàng)真空容器內氣體導入量和控製有效排氣速度。
(1)氣體導入閥門
閥門,通過控製無氧銅和超硬合金接觸麵的氣(qì)體導通率(lǜ)來控(kòng)製氣體流量,信賴(lài)性高。流量(liàng)可變閥門由金屬構成,可以烘烤也可以切斷氣體導入。
(2)流通量可(kě)變閥門
這種閥門被(bèi)安(ān)裝(zhuāng)在真空腔和排氣泵之(zhī)間,通過調節氣體導通率來(lái)調節排氣速度。相片1是蝶形閥門,通過活塞角度的變化調節氣體導通率。
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